野村マイクロサイエンス製ミニピュアTW-U3000
特長
●供給能力が、1m3/h〜3m3/hのため、試作工場向けの超純水設備に最適です。
●有機物を分解するTOC-UVとイオン交換ボンベとUF膜で構成された超純水製造装置です。原水は、TW-Lで製造された一次純水とし、すべての不純物濃度がppbレベルまで低減された高純度な超純水を供給します。
用途
●電子産業用洗浄水、液晶基板洗浄水、半導体基板洗浄水
●供給能力が、1m3/h〜3m3/hのため、試作工場向けの超純水設備に最適です。
●有機物を分解するTOC-UVとイオン交換ボンベとUF膜で構成された超純水製造装置です。原水は、TW-Lで製造された一次純水とし、すべての不純物濃度がppbレベルまで低減された高純度な超純水を供給します。
用途
●電子産業用洗浄水、液晶基板洗浄水、半導体基板洗浄水
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