野村マイクロサイエンス製ミニピュアTW-L2000
特長
●供給能力が、1m3/h〜3m3/hのため、試作工場向けの超純水設備に最適です。
●膜式前処理、活性炭、逆浸透膜、イオン交換ボンベで構成された純水製造装置です。メンテナンス性に優れ、なおかつ、懸濁物質、イオン成分、有機成分、シリカを除去し、不純物の少ない一次純水を供給します。
用途
●電子産業用洗浄水、液晶基板洗浄水、半導体基板洗浄水
●供給能力が、1m3/h〜3m3/hのため、試作工場向けの超純水設備に最適です。
●膜式前処理、活性炭、逆浸透膜、イオン交換ボンベで構成された純水製造装置です。メンテナンス性に優れ、なおかつ、懸濁物質、イオン成分、有機成分、シリカを除去し、不純物の少ない一次純水を供給します。
用途
●電子産業用洗浄水、液晶基板洗浄水、半導体基板洗浄水
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